【中字】Silicon Run Lithography 芯片制造(光刻)

SILICON RUN的影片LITHOGRAPHY考察了光刻在成像和印刷集成电路的许多复杂层中的作用。该视频重点关注CMOS晶体管的关键和非关键掩模水平，仔细观察了使更精确和复杂的亚微米光刻成为可能的制造材料，工具和工艺。
SILICON RUN光刻技术展示了如何使用“分步重复”和“分步扫描”曝光工艺大大减少掩模图案并将其精确定位在硅晶片上。
Silicon Run Lithography 1999