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清华大学-微电子机械系统课--第四章 微型传感器Ⅲ—惯性传感器

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微电子机械系统广泛应用于手机，汽车等设备当中。如手机陀螺仪，光学自动变焦，汽车碰撞检测，可植入生物传感器等等智能机构中。
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  • 时间：2023-04-27 17:47:23
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