制造光刻机需要几步？为什么上百纳米的光源能刻出几十纳米的芯片？【芯片系列第三期】

光刻机最核心的部件是什么，为什么大家都在追逐波长更小的光源，上百纳米的光是如何刻出几十纳米的芯片的？